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睿勵(lì)科學(xué)儀器完成近5億元戰(zhàn)略融資,進(jìn)一步提升國(guó)產(chǎn)半
導(dǎo)體前道工藝光學(xué)量檢測(cè)設(shè)備競(jìng)爭(zhēng)力

發(fā)布時(shí)間:2024-11-15     來(lái)源:張通社    編輯:衡盛楠    審核:張經(jīng)緯 王靜

近日,睿勵(lì)科學(xué)儀器(上海)有限公司(以下簡(jiǎn)稱睿勵(lì)科學(xué)儀器)宣布完成近5億元戰(zhàn)略融資,本輪融資由金石投資和招商致遠(yuǎn)聯(lián)合領(lǐng)投,河南資產(chǎn)、金信資本、鼎青投資等跟投。所融資金主要用于進(jìn)一步提升先進(jìn)半導(dǎo)體制程用的光學(xué)量檢測(cè)設(shè)備的國(guó)產(chǎn)替代能力,豐富產(chǎn)品種類(lèi),加大市場(chǎng)開(kāi)拓力度能力。

睿勵(lì)科學(xué)儀器成立于2005年,總部位于上海張江。公司致力于開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)及核心技術(shù)的集成電路芯片制造工藝用的光學(xué)量檢測(cè)設(shè)備,是國(guó)內(nèi)第一批半導(dǎo)體前道工藝國(guó)產(chǎn)設(shè)備公司,也是半導(dǎo)體行業(yè)國(guó)內(nèi)第一家量檢測(cè)領(lǐng)域的國(guó)產(chǎn)設(shè)備公司。迄今為止,睿勵(lì)科學(xué)儀器仍是進(jìn)入三星半導(dǎo)體產(chǎn)線的唯一國(guó)產(chǎn)設(shè)備廠商,也是目前唯一為半導(dǎo)體芯片制造良率控制、提供批量有圖形光學(xué)缺陷檢測(cè)設(shè)備的國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)。

截至目前,公司已取得了多項(xiàng)榮譽(yù)。2023年,公司作為續(xù)評(píng)多年的國(guó)家級(jí)高新技術(shù)企業(yè),又連續(xù)獲評(píng)為國(guó)家級(jí)專(zhuān)精特新小巨人企業(yè)、上海市小巨人培育企業(yè);并在2024年被認(rèn)定為上海企業(yè)技術(shù)中心。

一、國(guó)內(nèi)首家量檢測(cè)設(shè)備開(kāi)發(fā)企業(yè)浦東科創(chuàng)集團(tuán)、中微半導(dǎo)體是其大股東

2005年,在上海市政府的支持下,曾任全球第一大量檢測(cè)設(shè)備企業(yè)研發(fā)科學(xué)家、研發(fā)經(jīng)理的呂彤欣博士,回國(guó)創(chuàng)辦了國(guó)內(nèi)第一家專(zhuān)注于集成電路生產(chǎn)前道工藝量檢測(cè)設(shè)備開(kāi)發(fā)的企業(yè)——睿勵(lì)科學(xué)儀器。公司核心團(tuán)隊(duì)來(lái)自行業(yè)國(guó)際巨頭,專(zhuān)業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)成員大都來(lái)自國(guó)際前兩名的量檢測(cè)設(shè)備企業(yè)以及國(guó)內(nèi)著名光學(xué)技術(shù)類(lèi)公司,擁有多項(xiàng)全自主研發(fā)的專(zhuān)利技術(shù)。

量檢測(cè)設(shè)備是位列刻蝕、薄膜沉積、光刻后第四大市場(chǎng)的半導(dǎo)體設(shè)備,規(guī)模占半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)份額的15%左右。中國(guó)半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)則被國(guó)際廠商高度壟斷,是半導(dǎo)體設(shè)備中除光刻機(jī)外國(guó)產(chǎn)化率最低的領(lǐng)域。

作為國(guó)內(nèi)少數(shù)成規(guī)模的前道量檢測(cè)設(shè)備企業(yè)之一,睿勵(lì)科學(xué)儀器分別于2009年和2011年承接兩項(xiàng)國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng),又相繼承擔(dān)了上海市首批戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目和上海市第十三批戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)重大項(xiàng)目。在完成2009年專(zhuān)項(xiàng)的同時(shí),2013年,睿勵(lì)科學(xué)儀器成功實(shí)現(xiàn)國(guó)內(nèi)首臺(tái)300mm橢偏膜厚設(shè)備交付。

創(chuàng)業(yè)之路九死一生,由于投入大、研發(fā)時(shí)間久,回報(bào)周期長(zhǎng),睿勵(lì)科學(xué)儀器在成長(zhǎng)階段曾陷入現(xiàn)金流短缺的困境,導(dǎo)致生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)一度陷入停滯。2019年前后,浦東科創(chuàng)集團(tuán)會(huì)同張江集團(tuán)、國(guó)盛集團(tuán)等多家投資機(jī)構(gòu),挺膺擔(dān)當(dāng)、主動(dòng)作為,發(fā)揮國(guó)資創(chuàng)投的功能性作用,伸出援手向其投資,助力睿勵(lì)科學(xué)儀器渡過(guò)難關(guān)。在配套資金的同時(shí),支持團(tuán)隊(duì)迅速恢復(fù)生產(chǎn)和研發(fā),妥善處理房租拖欠,解決歷史包袱后輕裝上陣,快速投入到集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的科技洪流中去。從2018年不到60人、年?duì)I收不足500萬(wàn)元的瀕臨倒閉公司,發(fā)展壯大到如今超過(guò)250人、收入上億的平臺(tái)型高端裝備企業(yè)。

其中,浦東科創(chuàng)先后對(duì)其投資兩次。浦東科創(chuàng)投資條線相關(guān)負(fù)責(zé)人表示,在睿勵(lì)科學(xué)儀器經(jīng)營(yíng)最為困難、眼看資金鏈斷裂、團(tuán)隊(duì)逐漸縮小、多年的研發(fā)投入即將付諸東流之時(shí),選擇出手投資睿勵(lì)科學(xué)儀器出于四個(gè)方面的考慮:一是全球高科技產(chǎn)業(yè)競(jìng)速,睿勵(lì)科學(xué)儀器生產(chǎn)的半導(dǎo)體上游核心設(shè)備是兵家必爭(zhēng)之地;二是睿勵(lì)科學(xué)儀器是國(guó)內(nèi)布局前道量檢測(cè)領(lǐng)域最早的企業(yè),也是當(dāng)時(shí)唯一一家實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)自研設(shè)備出貨的企業(yè),一度是上海本土該領(lǐng)域的獨(dú)苗;三是睿勵(lì)的團(tuán)隊(duì)十年如一日在這個(gè)領(lǐng)域深耕,其創(chuàng)始人在公司資金緊張之時(shí),自掏腰包支付團(tuán)隊(duì)薪酬,企業(yè)精神令人敬佩、感動(dòng);四是中微半導(dǎo)體董事長(zhǎng)尹志堯博士為睿勵(lì)科學(xué)儀器的存續(xù)奔走呼號(hào),作為同一批歸國(guó)創(chuàng)立集成電路前道設(shè)備企業(yè)的革命戰(zhàn)友,尹總的支持促使我們下定決心。

隨后,中微半導(dǎo)體于2020年和2021年分兩次向睿勵(lì)科學(xué)儀器出資合計(jì)超過(guò)2億元,成為最大股東,持股比例超36%,并由中微半導(dǎo)體董事長(zhǎng)尹志堯博士親自出任睿勵(lì)科學(xué)儀器董事長(zhǎng)。從此以后,睿勵(lì)科學(xué)儀器與中微形成協(xié)同效應(yīng),邁入企業(yè)發(fā)展快車(chē)道。

二、自研多項(xiàng)國(guó)產(chǎn)首臺(tái)設(shè)備填補(bǔ)半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域空白

2019年起,睿勵(lì)科學(xué)儀器迎來(lái)了新一輪快速發(fā)展,前道工藝光學(xué)量檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域產(chǎn)品線布局處于國(guó)產(chǎn)廠商領(lǐng)先地位,尤其是在膜厚及OCD、缺陷檢測(cè)系列設(shè)備領(lǐng)域。

 

光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測(cè)TFX4000OCD

在膜厚及OCD設(shè)備上,陸續(xù)推出了TFX3200系列、TFX4000系列、4000-OCD系列、TFX-R系列等設(shè)備,可滿足200mm300mm前后道全產(chǎn)線幾乎所有應(yīng)用,性能匹配國(guó)外同行同等水平,實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)全替代能力,設(shè)備在各節(jié)點(diǎn)量產(chǎn)線被廣泛使用,獲得了良好的客戶口碑。

 

光學(xué)缺陷檢測(cè)WSD300

在缺陷檢測(cè)系列設(shè)備上,睿勵(lì)科學(xué)儀器相繼推出了FSD系列、WSD系列和BriteSD。其中,WSD是首先應(yīng)用于半導(dǎo)體前道工藝過(guò)程檢,且唯一實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)能力的國(guó)產(chǎn)缺陷檢測(cè)設(shè)備,可替代行業(yè)國(guó)際巨頭在硅基CMP、ADI、AEI inline 以及SiC inline檢測(cè)應(yīng)用,取得多臺(tái)重復(fù)訂單并驗(yàn)收;BriteSD300是首臺(tái)應(yīng)用于半導(dǎo)體前道工藝的納米級(jí)明場(chǎng)缺陷檢測(cè)設(shè)備。

就技術(shù)而言,缺陷檢測(cè)設(shè)備具有公司自研的獨(dú)特算法模式及獨(dú)立設(shè)計(jì)的光學(xué)架構(gòu),率先打破國(guó)際廠商壟斷,是目前唯一在前道工藝用做過(guò)程檢的國(guó)產(chǎn)缺陷檢測(cè)設(shè)備,通過(guò)了28nm API驗(yàn)證,被多條300mm集成電路芯片產(chǎn)線和SiC產(chǎn)線采用;同時(shí),在國(guó)內(nèi)首家推出OCD設(shè)備,并完成第二代開(kāi)發(fā),性能進(jìn)一步提升,為關(guān)鍵尺寸量測(cè)方面國(guó)產(chǎn)替代提供值得信賴的選擇。

值得一提的是,公司產(chǎn)品可靠性驗(yàn)證超過(guò)10年,在各類(lèi)客戶不同的生產(chǎn)工藝產(chǎn)線上都通過(guò)了大規(guī)模量產(chǎn)的驗(yàn)證,無(wú)論是設(shè)備穩(wěn)定性還是快速響應(yīng)并解決問(wèn)題的能力都得到了充分驗(yàn)證,幫助生產(chǎn)線提高生產(chǎn)效率、提升良率,得到了客戶的認(rèn)可和好評(píng)。此外,已完成半導(dǎo)體領(lǐng)域客戶的廣泛布局,并正在開(kāi)展LED、顯示面板及化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域客戶驗(yàn)證,打開(kāi)廣闊市場(chǎng)空間。

截至目前,睿勵(lì)科學(xué)儀器申請(qǐng)專(zhuān)利超170項(xiàng),授權(quán)101項(xiàng)(國(guó)外10件),其中發(fā)明申請(qǐng)專(zhuān)利78項(xiàng),實(shí)用新型專(zhuān)利24項(xiàng),外觀設(shè)計(jì)專(zhuān)利3項(xiàng);產(chǎn)品已被國(guó)內(nèi)諸多知名Fab企業(yè)認(rèn)證,并已進(jìn)行泛半導(dǎo)體行業(yè)布局,服務(wù)客戶包括三星、積塔半導(dǎo)體、中芯、華力微電子、中晶光電等巨頭。預(yù)計(jì)未來(lái)五年實(shí)現(xiàn)業(yè)績(jī)放量增長(zhǎng)。

三、近5億元,五家投資機(jī)構(gòu)出手

今年,睿勵(lì)科學(xué)儀器還將推出3D AOI檢測(cè)設(shè)備、TSV量測(cè)設(shè)備,在研和驗(yàn)證中設(shè)備完善產(chǎn)品線布局,保持國(guó)內(nèi)領(lǐng)先。

本輪近5億元融資,將為睿勵(lì)科學(xué)儀器的未來(lái)發(fā)展提供強(qiáng)有力的資金支持。睿勵(lì)科學(xué)儀器總經(jīng)理?xiàng)罘灞硎荆?/span>非常感謝投資方的認(rèn)可與支持。我們將繼續(xù)深耕集成電路芯片生產(chǎn)工藝檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng),進(jìn)一步豐富光學(xué)量測(cè)和光學(xué)缺陷檢測(cè)產(chǎn)品系列,為實(shí)現(xiàn)集成電路前道工藝檢測(cè)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化全面替代的目標(biāo)而努力。他指出,未來(lái),睿勵(lì)科學(xué)儀器將持續(xù)聚焦在光學(xué)量檢測(cè)領(lǐng)域,完善膜厚量測(cè)、OCD量測(cè)、缺陷檢測(cè),開(kāi)發(fā)包括OVL的其他光學(xué)量檢測(cè)設(shè)備。

作為睿勵(lì)科學(xué)儀器的第一大股東,中微半導(dǎo)體相關(guān)負(fù)責(zé)人表示:隨著集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,工藝檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)需求日益增長(zhǎng),國(guó)產(chǎn)化替代進(jìn)口設(shè)備是大勢(shì)所趨,睿勵(lì)科學(xué)儀器在這方面具有巨大的發(fā)展空間和市場(chǎng)機(jī)會(huì)。隨著新一輪融資的完成,我們期待睿勵(lì)科學(xué)儀器能夠進(jìn)一步加速產(chǎn)品研發(fā)和市場(chǎng)拓展,鞏固其在光學(xué)量檢測(cè)領(lǐng)域的領(lǐng)先地位。中微半導(dǎo)體將繼續(xù)提供全方位的支持,以促進(jìn)睿勵(lì)科學(xué)儀器的創(chuàng)新發(fā)展和持續(xù)成長(zhǎng)。我們相信,通過(guò)雙方的緊密合作,能為推動(dòng)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控和高質(zhì)量發(fā)展做出更大的貢獻(xiàn)。

本輪融資領(lǐng)投機(jī)構(gòu)金石投資相關(guān)負(fù)責(zé)人表示:量檢測(cè)設(shè)備作為晶圓制造工藝的,是工藝過(guò)程質(zhì)量控制和保證產(chǎn)線良率看護(hù)人,其國(guó)產(chǎn)化的自主突破對(duì)于國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈具有重大的戰(zhàn)略意義。睿勵(lì)科學(xué)儀器團(tuán)隊(duì)深耕該領(lǐng)域近20年,擁有較強(qiáng)的技術(shù)優(yōu)勢(shì)、較高的業(yè)務(wù)專(zhuān)注度以及產(chǎn)品創(chuàng)新能力,是業(yè)內(nèi)具有綜合競(jìng)爭(zhēng)實(shí)力的企業(yè)。我們期待與睿勵(lì)科學(xué)儀器一同成長(zhǎng),為我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)自主可控貢獻(xiàn)力量。


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