針對(duì)近日荷蘭宣布將部分光刻機(jī)等半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)品納入出口管制，商務(wù)部新聞發(fā)言人近日回應(yīng)稱，近幾個(gè)月以來(lái)，中荷雙方就半導(dǎo)體出口管制問(wèn)題開(kāi)展了多層級(jí)、多頻次的溝通磋商，但荷方最終仍將相關(guān)半導(dǎo)體設(shè)備列管，中方對(duì)此表示不滿。

“部分光刻機(jī)等半導(dǎo)體關(guān)鍵設(shè)備被納入出口管制，對(duì)中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)制造將產(chǎn)生一定影響，我們是堅(jiān)決反對(duì)的。不過(guò)這樣的限制，將會(huì)加速中國(guó)產(chǎn)業(yè)鏈對(duì)先進(jìn)制程芯片的探索。從長(zhǎng)遠(yuǎn)來(lái)看，中國(guó)的芯片企業(yè)想要不被‘卡脖子’，還是得實(shí)現(xiàn)光刻機(jī)等芯片關(guān)鍵環(huán)節(jié)的自主可控。外部的壓力只會(huì)增強(qiáng)中國(guó)企業(yè)加快自主研發(fā)的決心。”信息消費(fèi)聯(lián)盟理事長(zhǎng)項(xiàng)立剛表示。

出口管制影響范圍進(jìn)一步擴(kuò)大

據(jù)悉，荷蘭政府新頒布的出口管制條例將于2023年9月1日生效。這將主要影響世界先進(jìn)半導(dǎo)體制造商之一——荷蘭光刻機(jī)巨頭阿斯麥（ASML）。6月30日，阿斯麥發(fā)布一份聲明稱，這些新的出口管制條例針對(duì)對(duì)象為先進(jìn)的芯片制造技術(shù)，包括最先進(jìn)的沉積設(shè)備和浸潤(rùn)式光刻系統(tǒng)。

阿斯麥的光刻機(jī)是制造尖端芯片的關(guān)鍵設(shè)備。在芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈中，光刻機(jī)是復(fù)雜、最關(guān)鍵的工藝步驟。臺(tái)積電等晶圓代工企業(yè)，均需要向外界采購(gòu)光刻機(jī)才能夠生產(chǎn)芯片。而在光刻機(jī)市場(chǎng)份額上，阿斯麥占比高達(dá)80%以上。公開(kāi)資料顯示，2022年，中國(guó)市場(chǎng)約占阿斯麥銷售額的15%。

業(yè)內(nèi)人士表示，中國(guó)公司從阿斯麥訂購(gòu)的幾十臺(tái)機(jī)器交付時(shí)間可能將因?yàn)槭芄苤朴绊懚舆t或無(wú)法交付。

不過(guò)，阿斯麥表示，荷蘭政府新頒布的出口管制條例只涉及TWINSCAN NXT:2000i及后續(xù)推出的浸潤(rùn)式系統(tǒng)。

“TWINSCAN NXT:2000i主要用于14納米以下芯片先進(jìn)制程的制造，這意味著，中國(guó)晶圓代工廠將較難購(gòu)入14納米以下的光刻機(jī)，先進(jìn)制程研發(fā)受阻，對(duì)相關(guān)前沿性產(chǎn)品的制造也將受到影響。14納米及以下先進(jìn)制程主要用于4G/5G智能手機(jī)、服務(wù)器、人工智能等高性能計(jì)算芯片等。目前，蘋(píng)果手機(jī)主控芯片，聯(lián)發(fā)科、高通的旗艦手機(jī)主控芯片都在7納米及以下，英偉達(dá)的A系列和H系列的AI SoC芯片也涉及其中。”一位半導(dǎo)體公司相關(guān)負(fù)責(zé)人表示。

元禾半導(dǎo)體科技有限公司首席專家李科奕表示，阿斯麥的TWINSCAN NXT:2000i及后續(xù)推出的浸潤(rùn)式光刻系統(tǒng)應(yīng)用的芯片主要覆蓋了高端MCU、常規(guī)的通訊、高端傳感器、攝像頭應(yīng)用處理器、高端的車規(guī)級(jí)SoC等領(lǐng)域。7納米及更先進(jìn)工藝的芯片所需要的是EUV光刻系統(tǒng)，在此之前已經(jīng)受到嚴(yán)格的限制。“如果說(shuō)，過(guò)去受出口管制的影響還局限于先進(jìn)計(jì)算、人工智能、智能手機(jī)等領(lǐng)域，這次荷蘭宣布出口管制的影響范圍已經(jīng)擴(kuò)大到了更廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域，這些領(lǐng)域恰好是中國(guó)的芯片設(shè)計(jì)公司和部分半導(dǎo)體生產(chǎn)廠商正在突破的地方。”

利用好上下游產(chǎn)業(yè)集聚優(yōu)勢(shì)突圍

雖然外部施壓不斷，但目前我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，企業(yè)仍在關(guān)鍵環(huán)節(jié)不斷探索，光刻機(jī)領(lǐng)域也取得突破性進(jìn)展。

今年，我國(guó)在昆山已經(jīng)成功交付首臺(tái)國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)，這款光刻機(jī)正是上海微電子研發(fā)的SMEE光刻機(jī)。上海微電子的封裝光刻機(jī)進(jìn)入國(guó)產(chǎn)廠商生產(chǎn)線，將在一定程度上提升國(guó)產(chǎn)芯片自給率、降低對(duì)國(guó)外芯片的進(jìn)口依賴。

同時(shí)，在高端芯片的制造上，國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈巨頭也在加大研發(fā)投入力度。龍芯中科在SoC芯片持續(xù)突破，宣布將在2024年第一季度推出集成自研通用計(jì)算GPU核的SoC芯片。長(zhǎng)江存儲(chǔ)也在新一代存儲(chǔ)器領(lǐng)域獲得實(shí)質(zhì)性進(jìn)展。產(chǎn)業(yè)生態(tài)方面，隨著人工智能技術(shù)深入向各產(chǎn)業(yè)融合，元宇宙、智能汽車等產(chǎn)業(yè)鏈快速發(fā)展，成熟制程芯片的需求量還在逐年增加，各方對(duì)先進(jìn)制程的探索也在加快，這均為國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)等關(guān)鍵設(shè)備的發(fā)展提供更強(qiáng)勁的助推力。

目前，我國(guó)多家上市公司也已進(jìn)入光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈核心環(huán)節(jié)。賽微電子為全球光刻機(jī)巨頭廠商提供透鏡系統(tǒng)MEMS部件的工藝開(kāi)發(fā)與晶圓制造服務(wù)。容大感光的PCB感光油墨和光刻膠均為公司自主研發(fā)，并建立較為健全產(chǎn)業(yè)鏈。

“半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)講究全球合作，中國(guó)也在加速實(shí)現(xiàn)全球資源配置。在限制壓力下，傳統(tǒng)的產(chǎn)業(yè)合作模式將面臨新的挑戰(zhàn)和機(jī)遇，但企業(yè)依舊可以專注于芯片材料和組件等研發(fā)，為先進(jìn)芯片的制造積蓄技術(shù)能力和完善配套。”機(jī)械工業(yè)經(jīng)濟(jì)管理研究院兩化融合協(xié)同創(chuàng)新中心主任宋嘉表示。

李科奕認(rèn)為，中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)自主可控任重道遠(yuǎn)、道阻且長(zhǎng)，不僅需要克服工藝設(shè)備制約，而且整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的堵點(diǎn)還有不少。因此，中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)界在保持戰(zhàn)略定力和高強(qiáng)度的投入之外，還可以采用更有針對(duì)性的“博弈”策略來(lái)應(yīng)對(duì)國(guó)外限制，特別是，利用好中國(guó)的市場(chǎng)優(yōu)勢(shì)和上下游產(chǎn)業(yè)的集聚優(yōu)勢(shì)，由點(diǎn)到面，以時(shí)間換空間，最終實(shí)現(xiàn)中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的騰飛。